トライバッハ社製「酸化セリウム」取り扱い

研磨材として様々な用途に使われる「酸化セリウム」。

高精度研磨加工のテクノロジーカンパニーとして、テクノライズ株式会社では、オーストリア・トライバッハ社製酸化セリウムを取り扱っています。

トライバッハ社製　酸化セリウムパウダー

様々なグレードに分類されており、一般板硝子から超高精度光学レンズ等に至る多種多様な製品に対応しています。
研究開発から量産までカバーできる豊富な供給が可能です。
（主原料：エストニア産）

トライバッハ社の酸化セリウムパウダー日本総代理店です

テクノライズ株式会社は、オーストリア Treibacher Industrie AG (トライバッハ インダストリ エージー）社製酸化セリウムパウダーの日本総代理店です。


無料サンプルをご用意しております。


酸化セリウムの詳細（スペック等）については、「高純度酸化セリウム」のページをご覧ください。

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研磨に関するご相談はテクノライズ（株）へ！

テクノライズ（株）
045-949-5008
http://www.technorise.ne.jp/
までご相談・お問い合わせください。

ガラスプレート（ガラス定盤）って知ってますか？

研磨装置で使う研磨プレート（研磨定盤）は、銅プレートや鋳鉄プレート以外にもいろいろ種類があります。　→ 研磨プレート

どんな研磨プレートを使うかは、ワークによって変わってきます。

そのひとつに「ガラスプレート 」があります。

ガラスプレート

これがガラスプレートです。

通常、研磨装置を使って削ったり（ラッピング）磨いたり（ポリッシング）している方は、あまり見たり聞いたりすることがないと思いますが。。。

見ての通り、台盤にガラスが貼り付けてある定盤です。そのまんまです。
金属定盤と同じように、平面管理され溝が切ってあります。

いったい何の用途で使われるのでしょう。

特徴・用途は、「パイレックスガラス、青板ガラス、白板ガラスなどからなり、シリコン・化合物半導体ウエハ等の様々な材料のラッピング・ポリッシングに用いられるプレートです。」とのこと。

なんだかピンときません。

キーワードは「金属汚染」。

主なワークは「化合部半導体」（ウェーハ）（→ ウィキペディア：見てもやっぱりよくわかりませんが…）で、要は、化合物なので金属が付着（金属汚染）してしまうと悪影響出てしまうため、金属のプレートが使えない時に、このガラスプレートが使われる、というわけです。

摩耗・破損はメンテナンスで

研磨剤には薬品などを使うのですが、やはりそれでも摩耗もしますし、ガラスのため破損したりすることもあります。

ガラスプレートの放射溝

もちろん、新品のガラスプレートの取り扱いもございますが、現在お使いのガラスプレートのメンテナンスも承っております。

再溝加工、プレート素材の張り替えなど、メーカー・使用年数等に関わらず、可能な限り対応いたしますので、お気軽にお問い合わせください。

• 研磨プレート

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卓上片面研磨装置TR15Mの動作サンプルムービー

弊社卓上片面研磨装置の動作をイメージしていただけるよう、動作サンプルムービーをアップしました。

この動画では、卓上片面研磨装置「TR15M」に、研磨プレート（樹脂混合銅プレート）、修正リング（丸く繰り抜かれた部分にワークをセット）をセットして動作させてます。

強制駆動機構（オプション）は、ワークが自転しづらい場合に強制的に回転させるのに使用します。
研磨剤滴下装置もオプションで取り付け可能です。

 

土台の研磨プレートだけでなく、さらにワークも修正リング内で回転するので、より均一に高精度な研磨が可能になります。

TR15M

TR15Mは、研究開発から生産まで幅広い要求に対応したスタンダードな卓上型研磨装置です。

多種多様なオプションを取り揃え、カスタマイズ化することにより、ガラス・金属・セラミックのラッピング加工から、ポリッシング加工、CMP加工まで幅広く対応可能です。

→ 卓上片面研磨装置 TR15M 装置詳細ページ

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研磨プレート（ラップ定盤）のメンテナンスも

研磨装置による「研磨」は、研磨装置にあらかじめセットするラップ定盤と呼ばれる高い平面度をい持つ「研磨プレート」と、研磨するワークの素材や研磨精度に合わせた「研磨剤」を組み合わせて使い、職人さんの手によってより高い精度で行われます。

（小型卓上研磨装置TR06Mの動作）

使用する研磨プレート（上記動画のグレーの円の部分）は、主にダイヤモンド砥粒で用いられる金属プレート、樹脂混合プレートと、GCアルミナ等の砥粒で用いられる鋳鉄プレート、ガラスプレート等があり、研磨する対象物（ワーク）により使い分けることになります。

各種プレートの特徴や用途などの詳細は「研磨プレート（ラップ定盤）」のページをご覧ください。

樹脂混合銅プレート

メンテナンス

研磨作業を繰り返していけば、プレートの平面度に歪み（片減り）が出てきたり、溝加工がなくなってきたりすることは避けられません。

精度の高い研磨を持続していくためにも、使用状況に応じてメンテナンスをすることをお勧めします。

もちろん、テクノライズ株式会社でもメンテナンスを承っております。
（どちらの製品であっても対応可能です。お問い合わせください）

溝加工された金属錫プレート

プレート交換

台盤に取り付けられたプレートそのものを交換することも可能です。

メンテナンスでは対応しきれなくなっても、研磨プレートを台盤から外し、新しいプレートを取り付けることができます（鋳鉄プレートを除く）。

全てを新品にするよりリーズナブルです。

台盤（銀色）に取り付けられた研磨プレート（銅）。研磨プレートのみの交換が可能です。

測定原器の修正・メンテナンスも

平面度の調整に必要な測定原器のメンテナンスも承っております。

原器が正しくなければ、正しい平面度は出すことができません。

メーカーや測定器のタイプを問わず対応可能ですので、まずはお問い合わせください。

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真空貼り合わせ装置の加圧ダイヤフラムの働き

貼り合わせ装置とは、その名の通り、何かと何かをくっつける装置です。
ですので、さまざまな用途で使われていると思います。

テクノライズでご提供するのは「真空貼り合わせ装置（VAP250）」は、素材Aと素材Bを貼り合わせる場合、真空状態を作ることで素材Aと素材Bの間の気泡を極限まで取り除き（脱泡）、また、加圧することでより確実に密着させることができます。

加圧の方法は、エアによりダイヤフラムを膨らませて圧力をかけます。
そのため、平面的な加圧では不可能な多少の凹凸がある場合も、加圧・密着させることができます。

と、文字や言葉で説明してもなかなか伝わらないようですので動画を撮ってみました。
ダイヤフラムの動作の様子です。




これでイメージは掴んでいただけるかと思います。

加熱及び冷却装置も内臓しているので、接着用ワックスの加熱や冷却、その他接着フィルムなどの利用にも対応しております。

シリコンウエハの研磨用ベースプレートへの接着のみならず、金属、ガラス、プラスチックと異種素材との接着、複数枚の貼り合わせなどの用途にもご利用いただけます。

• 真空貼り合わせ装置 VAP250
• 据置型貼り合わせ装置 VAP350
• 据置型真空UV貼り合せ装置 VAP250-UV

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貼り合わせ装置のご用命はテクノライズ（株）へ！

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ラップ定盤（じょうばん）と呼ばれる研磨プレート

弊社テクノライズ（株）で取り扱っている高精度研磨装置は、機能的にも構造的にも非常にシンプルなもので、メンテナンス次第で長く使える装置です（→研磨装置の寿命とメンテナンス）。

研磨装置は、もちろん研磨するために使う装置ではあるのですが、実際に研磨する際には、「研磨剤」と「研磨プレート」が中心的役割を果たし、装置はその手助けをすることになります。

そこで今回は、研磨装置ではなく、その中心的役割を担う「研磨プレート」についてです。

営業スタッフに聞いてみました。

この研磨プレートですが、研磨加工業界では「ラップ定盤（じょうばん）」などとも呼ばれています。
研磨プレートについてはこちら

ラッピング（高精度研磨）をする際に、研磨対象（ワーク）を平面に仕上げるため、基準となる平面度をもったものがラップ定盤で、その定盤の表面にワークをあてて研磨剤を使って研磨していきます。
（これを「面転写」というのだそうです。）

この研磨プレート（ラップ定盤）には、←のリンク先にあるようにいくつか種類があります。何を選ぶかはワークの材質や仕上げる平面度によって変わってきます。

この図でいうと、右側に行くほどより細かな研磨ということになります。

ワークの材質や求められる平面度によって適した組み合わせを選択します。

オーソドックスな組み合わせの例は、上の表（ダイヤモンド砥粒）の場合、樹脂混合銅プレートまたは樹脂混合錫プレートと各レンジのダイヤモンド砥粒、他には（ワークの材質により）安価に研磨ができる鋳鉄プレートとアルミナの組み合わせがあげられます。

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研磨プレート、研磨剤（ダイヤモンドスラリー、アルミナ、酸化セリウム等）の消耗品のご用命もテクノライズ（株）へ！

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研磨装置の寿命とメンテナンス

前回の編集後記にも書きましたが、研磨装置の寿命は意外と長いのです。
（→高精度“研磨装置”とは）

超高精度研磨加工といっても、実際は高精度な研磨のお手伝いをする装置であり、構造はモーターと回転盤が主力構成の実にシンプルな装置です。

卓上型片面ラッピング・ポリッシング装置 TR15M の内部

ですから、日頃から各部の清掃（特に排出される研磨剤）を行っていただき、3年に1度程度、機械内部のメンテナンスをさせていただければ、（もちろん使用頻度にもよりますが）10〜20年は問題なく稼働させることができます。

また「かつて使っていたが最近動かしていない」という装置でも、あらためてメンテナンスを行うことで十分に高精度な研磨加工ができるようになります。

もし、工場や研究室に、休眠中の研磨装置がありましたら、まだまだ使える場合がありますので、ぜひ一度弊社までご連絡いただければと思います。
（他社製品でも全く問題ありません）

また、装置のリニューアルも承っております。
お気軽にご相談ください。

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研磨装置、研磨加工、研磨材については、
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高精度“研磨装置”とは

「超高精度研磨装置」。
その言葉のイメージから、
「最新のテクノロジーで武装された最新鋭の精密機器で、3年もしたら新しいテクノロジーが出てきて型遅れとなってしまうのでは？」
というご質問をいただくことがあります。

ある意味良いイメージでもあるので大事にしたいとも思いますが、実のところ研磨装置というのは、ワークの素材や研磨精度に合わせた研磨プレート（ラップ定盤）や研磨剤を使い、装置の回転数や研磨時間、圧の掛け方などによって研磨精度を高めていくもので、装置の構造自体はいたってシンプルなのです。

つまり、装置そのものはテクノロジーの進化とは別の次元のもので、そのシンプルな構造ゆえ、メンテナンスさえきっちりとしていれば、10〜20年は十分に使用できます。

「超高精度」から考えるとちょっと意外ですよね。

卓上型片面ラッピング・ポリッシング装置 TR15M

中でも小型の卓上研磨装置は小型で低コストですから、研究開発や試作品製作などでお役に立てると考えています。
コストパフォーマンスが高いこともあり、おもに企業の開発部署や大学の研究室などで導入いただいております。

小型卓上研磨装置については以下のページをご覧ください。

• 小型試料研磨装置：TR06M
• 卓上型片面ラッピング・ポリッシング装置：TR15M

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オプチカルフラットのお取扱いもしております

「オプチカルフラットによる平面度の測定」は多くの皆さんに読んでいただいているので、せっかくですから「お取扱いもしています」ということをお伝えしておきますね。

平面度を測定するのに使用するこのオプチカルフラットですが、サイズ（直径100mmから300mm程度）や仕上がり精度、さらに材質（合成石英・BK7）によって数種類ございます。

お問い合わせいただければ、測定したいものや精度に応じて最適なものをご提案させていただきます。

オプチカルフラット（φ200mm）

メンテナンスも承っております

最近では、より精度の高いレーザー干渉計 を使用する場合も多いかと思いますが、計器は高価ですし、外部に測定を依頼するのも気軽ではありませんよね。

また、古くから品質維持のためにこのオプチカルフラットを常に利用されている場合もあるかと思います。

前の記事でも書いたように、測定したい対象物にオプチカルフラットを重ねて、専用の光源（ヘリウムネオン）を当てて見える干渉縞によって面の精度を測定するのですが、オプチカルフラットもいわゆる光学ガラスですから、使用しているうちにキズがついてしまうこともあるかと思います。

キズがついてしまうと正確な測定ができません。
そんな場合でも、表面を研磨することで精度を取り戻すことができます。

テクノライズ株式会社では、このようなオプチカルフラットのメンテナンス（研磨）のご依頼も承っております。


その他、「研磨」特に「精密平面研磨」に関してのお問合わせ、ご相談もお待ちしております！

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平面度の測定：レーザー干渉計と３点ゲージ

前回は、「オプチカルフラットによる平面度測定」について書きました。

今回は、その続きで、技術情報：平面度の測定方法の中から、(B) レーザー干渉計による測定 と (C) ３点ゲージによる測定 について、またまた弊社技術スタッフに教えてもらいました。

＊

まずはレーザー干渉計による測定について技術情報に書かれている内容は、

(A)のオプチカルフラットによる測定では、接触式なので、どうしてもワークにキズが入ります。そこで、非接触式の測定器が開発されて、一般に実用化されています。この原理は、基本的にオプチカルフラットと同じですが、レーザービームを使用し、オプチカルフラットに反射させて、干渉縞を発生させ、それをデジタル処理、又は手動により解析させるものです。（ZYGO等）このシステムは完全に「鏡面でなくても干渉縞を起こすことができる」、「非接触なのでワークにキズが付かない」等のメリットがあります。しかし、レーザーを使用するため、当然、高価であることが欠点です。

オプチカルフラットによる測定を、レーザーを使ってより高機能にしたものとでも言うのでしょうか。

解析方法によって測定結果の表示方法は違いますが、一例としては画像のようなグラフに表されます。

左のグラフは3Dで立体的に表現されたもの、右は基本的な干渉縞模様ですね。

このようにしてより詳細に平面度を測定して、求める加工精度にまで研磨できているかを検証するんです。

＊

もうひとつ、より簡易的な方法として「３点ゲージによる測定」があります。

これは、３点ゲージと言われる計測器（右写真）を使って、定盤上のワークのいくつかの点の数値を測定します。

それぞれの数値の差によって、その平面度を判定するもので、あまり高精度を必要としない場合には、この測定方法でもおおまかな平面度を得ることができます。

＊

事務一筋の私は技術にめっぽう弱いので、なんとなくわかったようなわからないような感じですが、前回と今回の2回にわたって「研磨加工の際に重要な平面度は、必要とされる精度に合わせて、このような方法で測定される」というお話をさせていただきました。

参考になりましたでしょうか...。

＊＊＊

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オプチカルフラットによる平面度の測定

テクノライズのホームページの中で、技術情報のページは意外とアクセスがあるのです。

おそらくは、学生さんとか新しく研究部署に配属された方とかが調べ物として検索して辿り着くのだろうなと思います。


実のところ、技術には疎いわたくし、この技術情報のページにある文字だけの説明では、まったくイメージが浮かびません・・・。

そこで今回は平面度の測定方法について、営業スタッフから少し詳しく教えてもらいました。

まずは、技術情報ページの測定方法を見ると

(A) オプチカルフラットによる測定
この原理は、完全に平坦の出た（1/5～1/10ライトバンド）基準原器（オプチカルフラット）とワークを接触させて、そこに、短波長光源を当てることにより、光学的に干渉縞を発生させ、その干渉縞により平面度を測定するものです。つまり、ワークと光学基準原器（オプチカルフラット）との一種の比較測定となります。
面粗度が鏡面まで出ていない場合は、光学測定できませんので、(C)の方法により、測定します。

とあります。

では、この「オプチカルフラット・基準原器」というものはどんなものなのでしょう？

ずばり、これです。

オプチカルフラット

このレンズのようなものがオプチカルフラットで、これを平面度を測定するもの（ワーク）の上に乗せて測定用の光源を当てると・・・

綺麗な平面であれば綺麗な縞模様が、高低差があると、地図の等高線のような模様が現れます。

この写真（測定用光源ではなく室内の蛍光灯のもとで撮影）は、測られる側も実際のワークではなくオプチカルフラットなので、きっちり平面が出ていますから、綺麗に揃った虹色の縦縞が見えると思います。


なるほど。
百聞は一見にしかず、ですね。

次回は、レーザー干渉計や３点ゲージによる測定方法について聞いてみることにします。


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ノーベル賞受賞で話題の青色LEDと研磨装置

"Blue light emitting diodes over a proto-board" by Gussisaurio - 投稿者自身による作品. Licensed under CC BY-SA 3.0 via ウィキメディア・コモンズ.

青色発光ダイオードの研究開発と実用化で、日本人３名の研究者の方々がノーベル物理学賞を受賞しました。
素晴らしいですね！


青色の発光ダイオードの開発がなぜそんなに凄いのかというと、赤や緑と比べて、実用的な輝度の青色を放つ高品質な半導体結晶を作るのがとても難しいとされていたのです。


きれいな青色を作り出すために必要だったのが窒化ガリウムで、品質の高い無色透明の窒化ガリウム単結晶を作るのにサファイア基板が使われるのだそうです。

そのあたりの青色LEDやその開発の苦難の道についてはこちらのページをどうぞ。
（→ 「ノーベル賞受賞の陰で」NHK「かぶん」ブログ）

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青色に限らず、この発光ダイオード（LED）の製造過程において、研磨作業は密接に関わっております。

テクノライズの高精度研磨装置は、LED製造メーカーへの導入実績もあります。

シリコン、サファイア、GaN、SiC等各種ウェーハの鏡面加工など、高精度研磨装置につきましては、
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イルミネーションが綺麗なこの時期、弊社の研磨装置で磨かれた素材がLED照明になり、きっとどこかの街を彩っていることでしょう！

UVによる真空貼り合わせ装置

UV（Ultraviolet）：紫外線・・・Wikipedia

寒い季節になると、よく目にする「遠赤外線」という文字。
一方、夏の日差しが強いシーズンによく目にするのが「紫外線」。

WIkipediaによると、

赤外線が熱的な作用を及ぼすことが多いのに対し、紫外線は化学的な作用が著しい。このことから化学線とも呼ばれる。

ということです。

今回のテーマは紫外線・UVのほうです。

テクノライズでは、真空貼り合わせ装置をご提供しておりますが、
熱を利用した接着ではなく、この「UV」照射により接着させる真空貼り合わせ装置も取り扱っているんです。

UVによる接着とは？

真空貼り合わせ装置は、以前の編集後記「真空貼り合わせ装置・ボンディング装置」でも書きましたが、真空引きで気泡を追い出し、圧力をかけて貼り合わせるのですが、熱（ホットプレート）を使って接着剤（ワックス）を硬化させるものと、UV（紫外線）を使用するものとがあります。

UV照射による硬化といえば、女性の方はよくご存知でしょう。
そう、ネイルアートでも使われていますね。



このUVによる真空貼り合わせ装置は、UVを照射して接着材であるUV硬化樹脂を固めることで、接着・貼り合わせる装置で、接着後に熱による影響や、薬液による影響を受けやすい場合に用いられるんですね。


弊社では、より均一で気泡なく、常に高精度で接着できる貼り合わせ装置のご提案をしています。




*

研磨装置・研磨加工・貼り合わせ装置・治工具・受託加工などについてご相談がありましたら、お気軽にお問い合わせください。

テクノライズ株式会社
TEL : 045-949-5008
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バレル研磨装置 金属部品のバリ取り・表面研磨に

こちらの装置、最近ホームページの「特殊加工装置」のページに掲載したのですが、「遠心バレル研磨装置」といいます。

「バレル」。
原油価格などでよく「1バレル○○円」とか言いますよね。あのバレルです。
「樽」です。

動作イメージとしては、その「樽」の中に、ワークと研磨材（メディア）と水とコンパウンドを入れて、洗濯機のようにガラガラ回して磨きます。

昔ながらの里芋の皮むき機、ご存じですか？



水と一緒にがらがら回して里芋の皮をむく、イメージとしてはこんな感じです。

*

この「遠心バレル研磨装置」で、どのような研磨ができるかと言いますと、高精度な磨きには向きませんが、例えば金属部品のバリ取り、表面の艶出しなどに使われます。

メディアと言われる研磨材は、写真のような三角柱の大きいものや小さいもの他に、球状のもの、円柱・円錐状のものなど、大小、形も様々です。
対象のワークの大きさ、形状、磨き方に合わせて使いわけ、磨いていきます。

仕上がりのイメージはこのような感じ。

プレス断面のバリ取り〜面取り、表面は光沢が出るくらいの研磨ができます。
（これ以上の表面仕上げにはバフがけ等が必要です。）

主に金属部品などの研磨加工に利用されますが、水晶振動子に使われる水晶の研磨にも使われるそうです。

*

テクノライズでは、半導体などの超高精度の研磨加工だけでなく、このような研磨装置の取り扱い、また様々な研磨についてのご相談に応じています。

研磨装置・研磨加工についてご相談がありましたら、お気軽にお問い合わせください。

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マグネットギア（非接触式歯車）で生産性を向上

テクノライズ（株）では、マグネットギアのお取り扱いをしております。

マグネットギアとは、非接触式歯車で、以下の様な特徴があります。

1. 寿命が半永久的であり、無粉塵、無騒音など特徴からクリーンルームの中で駆動する設備に最適です。
2. 真空から大気までまた、食品、医療、電子部品分野まで幅広く使用されております。
3. 既存の接触式のギアに比較して寿命が長く、取替えなどが簡単です。
4. 現在ご使用のShaft Sizeに合わせて製品製作が可能であり、置き換えが 　簡単にできます。
5. マグネットギアを90度に交差させ、磁石の力で非接触で駆動させる原理なのでワーク移送時に異物やパーティクル発生率が極めて少なく、快適な環境を保ちます。
6. 設備の製造、取替えが破損する心配がないのでラインの生産性が高くなります。

マグネットギアのページはこちら>>



新規での機械設置時はもちろんですが、現行の機械の歯車からの置き換えも可能です。

お問い合わせは、

045-949-5008

またはこちらから。

酸化セリウム：自動車のフロントガラスの油膜取りにも！

弊社で取り扱っているトライバッハ製の酸化セリウムパウダーは、

各製品を様々なグレードに分類されており、一般板硝子から超高精度光学レンズ等に至る多種多様な製品に対応しており、研究開発から量産までカバーできる豊富な供給が可能です。（主原料：エストニア産）

なのですが、

最近、よく利用されているのが、実は自動車ガラスの油膜取り・水垢取り、小キズ磨き用だったりします。

カー用品店やホームセンターなどで一般的に売っているものは、研磨剤がメインで、ちょっとドロッとしていて、力を入れて油膜を削り落とすイメージですが、酸化セリウムは、少量を水に溶かし、化学反応も活かして油膜を落とすのでより効率的です。

特に、何台も展示車のある中古車センターさんなどに重宝されているようです。

（ちなみにボディやレンズ類には厳禁です。アクリルもダメです。念のため。）

ガラス類であればなんでもＯＫですから、バス会社さん、鉄道会社さん、ビルの清掃会社さん、スーパー銭湯さん（鏡用）にもご利用・お問い合わせをいただいております。

詳しくは、お問い合わせフォームまたはお電話で。

お客様専用の「治具」の設計・製作も承っております

「治具（じぐ）」ってご存知ですか？

「ザク」ではありません。「ジグ」です。

弊社で扱っているような精密加工はもちろんのこと、いろんな加工作業の際に、より効率よく、正確に製品を作るために用いられる専用工具のことです。

Wikipediaで調べてみると、

ジグ
治具（冶具）は当て字。工作物を固定するとともに切削工具などの制御、案内をする装置。おもに機械加工、溶接などに用いる。これによっていちいちけがきする手間がはぶけ、加工が容易になり、仕上がり寸法が統一されるので作業能率を増し、大量生産に適する。
—日刊工業新聞社刊「機械用語辞典」

治具 - Wikipedia

なかなか説明が難しいのですが、「これが治具」というものでもなく、上のような使い方をする工具はみんな治具なんですよね。

Googleで画像検索してみると、ちょっと面白い結果が出ました。

• 「治具」の検索結果
• 「jig」の検索結果

見てお分かりの通り、「治具」だと金属加工の画像が、「jig」だと木加工の画像が圧倒的なんです。

あと、釣りのルアーのこともjigって言うみたいです。

なんかわかったようなわからないような話ですが、テクノライズ株式会社では、精密加工のための専用治具の設計・製作も承っております。

より高精度な精密加工のための治具。
テクノライズにご相談下さい。

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貼合せ装置のダイヤフラムの役割り

たびたび取り上げている真空貼り合わせ装置ですが、これまでで、どういうものかは少しだけわかってきました。

そこで気になったのが「ダイヤフラム」というものです。

真空にして（空気を抜き負圧にして）、ふたつの材料の空気などを追い出して、更に圧力をかけて均一に貼り付ける際に活躍するのがこの「ダイヤフラム」。

シリコンゴムなどでできていて、機械の中で膨らんでギュッとするらしいのです。

お願いして倉庫にある真空貼り合わせ装置を少しだけ動かしてもらいました。

これがダイヤフラム。やわらかなシリコンなどでできています。

（ちょっと焦げ目が付いていますが...）
こうやってプーーッと膨らむんですね。

実際には密閉された機械の中なので、このダイヤフラムが膨らむことでワークに圧力を掛けていくことになるんです。

このダイヤフラムは、材質上、熱や圧がかかったりして劣化するため、定期的に交換したりするとのことです。

もちろん、テクノライズでは、装置だけでなく、このような消耗品のお取り扱いもしております。

• 真空貼り合わせ装置 VAP250（テクノライズ株式会社）
• ラッピング・ポリッシング消耗品、各種消耗品

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真空貼り合わせ装置VAP250

弊社の真空貼り合わせ装置「VAP250」について画像を使ってご案内したいと思います。

今回も営業の方に聞いてきました。

真空貼り合わせ装置とは、文字通り、二つの物質の間を真空にして接着させる・・・のではなく、接着剤の中の空気を抜いてより薄くより均一に接着するための装置です。

つまり、「薄いウエハをベースプレートにこの装置を使って貼り合わせることで、ウエハの反りを矯正し、接着剤（ワックス）のムラもなくなるので、極薄で高精度の研磨加工が可能になる」とのことです。

せっかくなので、社内にある装置を使って、セラミックのベースにウエハを接着させる様子を再現してみました。

セラミックのプレートとウエハ

装置の外観です。事務机に乗る大きさです。

ここにプレートをセットし、圧力と熱をかけながら真空引きします。

プレートがセットされた状態

ワックス接着剤を塗り、ウエハをセットします（外側は補助プレート）

タッチパネル式の画面で操作します。

高温になりますので、温度が十分に下がったところで接着完了。
（加工時間はこの場合、加熱10分、加圧・真空引き分：10分、冷却10分程度です）

高精度で貼り付けられることで、より精度の高い研磨が可能になります。

そのほかにも貼り合わせ装置（ボンディング装置）についてご質問・要望等ありましたら、お気軽にお問い合わせください。

真空貼り合わせ装置「VAP250」：テクノライズ株式会社

お問い合わせはこちらから>>

最近お問い合わせの多い卓上試料研磨機

小型片面ラッピングポリッシング装置「TR06M」。

最近、お問い合わせをいただくことの多い小型の卓上研磨装置です。

特に、大学の研究室や企業の研究開発部門などで、試料の研磨や実験などの用途としてニーズがあります。

これまで経験のない素材の研磨であるとか、実験のため何種類か研磨方法を試したいとか、高精度でごく少量を研磨したいとか、そのような場合に役立てていただいているようです。

従来のものより小型のため、置き場所も取りません（装置本体サイズ350mm×220mm）。

とは言え、重量は20kgほどありますので、男性でも持ち上げることはできても移動するのは・・・。（安全のため複数人で移動してください）

樹脂埋め込み試料

最大直径約50mmのものまで研磨できます。
素材は特に問いません。
樹脂、金属、ガラス、シリコンウエハなどなど、あらゆる素材に適応します。


AC100Vのみで動作します。

基本スペックは、TR06Mのページをご覧ください。




テクノライズ株式会社では、ほかにも様々な用途にあわせた研磨装置がございます。

詳細は、メールまたはお電話でお問い合わせください。