2019年8月27日

ガラスプレート(ガラス定盤)って知ってますか?

研磨装置で使う研磨プレート(研磨定盤)は、銅プレートや鋳鉄プレート以外にもいろいろ種類があります。 → 研磨プレート

どんな研磨プレートを使うかは、ワークによって変わってきます。

そのひとつに「ガラスプレート 」があります。


ガラスプレート
これがガラスプレートです。

通常、研磨装置を使って削ったり(ラッピング)磨いたり(ポリッシング)している方は、あまり見たり聞いたりすることがないと思いますが。。。

見ての通り、台盤にガラスが貼り付けてある定盤です。そのまんまです。
金属定盤と同じように、平面管理され溝が切ってあります。

いったい何の用途で使われるのでしょう。

特徴・用途は、「パイレックスガラス、青板ガラス、白板ガラスなどからなり、シリコン・化合物半導体ウエハ等の様々な材料のラッピング・ポリッシングに用いられるプレートです。」とのこと。

なんだかピンときません。

キーワードは「金属汚染」。

主なワークは「化合部半導体」(ウェーハ)(→ ウィキペディア:見てもやっぱりよくわかりませんが…)で、要は、化合物なので金属が付着(金属汚染)してしまうと悪影響出てしまうため、金属のプレートが使えない時に、このガラスプレートが使われる、というわけです。


摩耗・破損はメンテナンスで


研磨剤には薬品などを使うのですが、やはりそれでも摩耗もしますし、ガラスのため破損したりすることもあります。

ガラスプレートの放射溝
もちろん、新品のガラスプレートの取り扱いもございますが、現在お使いのガラスプレートのメンテナンスも承っております。

再溝加工、プレート素材の張り替えなど、メーカー・使用年数等に関わらず、可能な限り対応いたしますので、お気軽にお問い合わせください。





★ ★ ★

研磨に関するご相談はテクノライズ(株)へ!

テクノライズ(株)
045-949-5008
http://www.technorise.ne.jp/
までご相談・お問い合わせください。