どんな研磨プレートを使うかは、ワークによって変わってきます。
そのひとつに「ガラスプレート 」があります。
ガラスプレート |
通常、研磨装置を使って削ったり(ラッピング)磨いたり(ポリッシング)している方は、あまり見たり聞いたりすることがないと思いますが。。。
見ての通り、台盤にガラスが貼り付けてある定盤です。そのまんまです。
金属定盤と同じように、平面管理され溝が切ってあります。
いったい何の用途で使われるのでしょう。
特徴・用途は、「パイレックスガラス、青板ガラス、白板ガラスなどからなり、シリコン・化合物半導体ウエハ等の様々な材料のラッピング・ポリッシングに用いられるプレートです。」とのこと。
なんだかピンときません。
キーワードは「金属汚染」。
主なワークは「化合部半導体」(ウェーハ)(→ ウィキペディア:見てもやっぱりよくわかりませんが…)で、要は、化合物なので金属が付着(金属汚染)してしまうと悪影響出てしまうため、金属のプレートが使えない時に、このガラスプレートが使われる、というわけです。
摩耗・破損はメンテナンスで
研磨剤には薬品などを使うのですが、やはりそれでも摩耗もしますし、ガラスのため破損したりすることもあります。
ガラスプレートの放射溝 |
再溝加工、プレート素材の張り替えなど、メーカー・使用年数等に関わらず、可能な限り対応いたしますので、お気軽にお問い合わせください。
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