真空貼り合わせ装置VAP250

弊社の真空貼り合わせ装置「VAP250」について画像を使ってご案内したいと思います。

今回も営業の方に聞いてきました。

真空貼り合わせ装置とは、文字通り、二つの物質の間を真空にして接着させる・・・のではなく、接着剤の中の空気を抜いてより薄くより均一に接着するための装置です。

つまり、「薄いウエハをベースプレートにこの装置を使って貼り合わせることで、ウエハの反りを矯正し、接着剤（ワックス）のムラもなくなるので、極薄で高精度の研磨加工が可能になる」とのことです。

せっかくなので、社内にある装置を使って、セラミックのベースにウエハを接着させる様子を再現してみました。

セラミックのプレートとウエハ

装置の外観です。事務机に乗る大きさです。

ここにプレートをセットし、圧力と熱をかけながら真空引きします。

プレートがセットされた状態

ワックス接着剤を塗り、ウエハをセットします（外側は補助プレート）

タッチパネル式の画面で操作します。

高温になりますので、温度が十分に下がったところで接着完了。
（加工時間はこの場合、加熱10分、加圧・真空引き分：10分、冷却10分程度です）

高精度で貼り付けられることで、より精度の高い研磨が可能になります。

そのほかにも貼り合わせ装置（ボンディング装置）についてご質問・要望等ありましたら、お気軽にお問い合わせください。

真空貼り合わせ装置「VAP250」：テクノライズ株式会社

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