読んで字のごとく「物と物の間を真空にして貼り付ける装置」です。
社内では「ボンディング装置」なんて呼んだりしてます。貼り付ける（ボンド）という意味のボンディングですね。
ところでこの装置、何かを貼り付ける装置なのはわかるのですが、何と何を何のために貼り付けるのか「？？？」だったので、営業部にちょっと教えてもらいました。
ごくごく簡単にまとめてみますと、
ウエハーとかガラスとかサファイアとか、すごく薄い材料を研磨装置でさらに高精度で磨くためには、何かに貼り付けて固定しておかないと、ペラペラ過ぎて研磨のしようがないですよね。
その際に、しっかりと材料を抑える・保持するために、プレート（セラミックやステンレスなどの基板）にしっかりと接着させて研磨するわけです。
その材料と基板の接着に使うのがこの「真空貼り合わせ装置」なのだそうです。
ひとつ疑問が解決しました！
ところで貼り付けた材料と基板は、研磨加工が終わったらまた剥がさないといけないわけで・・・。
真空でくっつけた材料はいったいどうやって剥がすのでしょうか？
簡単に剥がれるものなのでしょうか？？
今度また聞いておきます！
