トライバッハ社製「酸化セリウム」取り扱い

研磨材として様々な用途に使われる「酸化セリウム」。

高精度研磨加工のテクノロジーカンパニーとして、テクノライズ株式会社では、オーストリア・トライバッハ社製酸化セリウムを取り扱っています。

トライバッハ社製　酸化セリウムパウダー

様々なグレードに分類されており、一般板硝子から超高精度光学レンズ等に至る多種多様な製品に対応しています。
研究開発から量産までカバーできる豊富な供給が可能です。
（主原料：エストニア産）

トライバッハ社の酸化セリウムパウダー日本総代理店です

テクノライズ株式会社は、オーストリア Treibacher Industrie AG (トライバッハ インダストリ エージー）社製酸化セリウムパウダーの日本総代理店です。


無料サンプルをご用意しております。


酸化セリウムの詳細（スペック等）については、「高純度酸化セリウム」のページをご覧ください。

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研磨に関するご相談はテクノライズ（株）へ！

テクノライズ（株）
045-949-5008
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ガラスプレート（ガラス定盤）って知ってますか？

研磨装置で使う研磨プレート（研磨定盤）は、銅プレートや鋳鉄プレート以外にもいろいろ種類があります。　→ 研磨プレート

どんな研磨プレートを使うかは、ワークによって変わってきます。

そのひとつに「ガラスプレート 」があります。

ガラスプレート

これがガラスプレートです。

通常、研磨装置を使って削ったり（ラッピング）磨いたり（ポリッシング）している方は、あまり見たり聞いたりすることがないと思いますが。。。

見ての通り、台盤にガラスが貼り付けてある定盤です。そのまんまです。
金属定盤と同じように、平面管理され溝が切ってあります。

いったい何の用途で使われるのでしょう。

特徴・用途は、「パイレックスガラス、青板ガラス、白板ガラスなどからなり、シリコン・化合物半導体ウエハ等の様々な材料のラッピング・ポリッシングに用いられるプレートです。」とのこと。

なんだかピンときません。

キーワードは「金属汚染」。

主なワークは「化合部半導体」（ウェーハ）（→ ウィキペディア：見てもやっぱりよくわかりませんが…）で、要は、化合物なので金属が付着（金属汚染）してしまうと悪影響出てしまうため、金属のプレートが使えない時に、このガラスプレートが使われる、というわけです。

摩耗・破損はメンテナンスで

研磨剤には薬品などを使うのですが、やはりそれでも摩耗もしますし、ガラスのため破損したりすることもあります。

ガラスプレートの放射溝

もちろん、新品のガラスプレートの取り扱いもございますが、現在お使いのガラスプレートのメンテナンスも承っております。

再溝加工、プレート素材の張り替えなど、メーカー・使用年数等に関わらず、可能な限り対応いたしますので、お気軽にお問い合わせください。

• 研磨プレート

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卓上片面研磨装置TR15Mの動作サンプルムービー

弊社卓上片面研磨装置の動作をイメージしていただけるよう、動作サンプルムービーをアップしました。

この動画では、卓上片面研磨装置「TR15M」に、研磨プレート（樹脂混合銅プレート）、修正リング（丸く繰り抜かれた部分にワークをセット）をセットして動作させてます。

強制駆動機構（オプション）は、ワークが自転しづらい場合に強制的に回転させるのに使用します。
研磨剤滴下装置もオプションで取り付け可能です。

 

土台の研磨プレートだけでなく、さらにワークも修正リング内で回転するので、より均一に高精度な研磨が可能になります。

TR15M

TR15Mは、研究開発から生産まで幅広い要求に対応したスタンダードな卓上型研磨装置です。

多種多様なオプションを取り揃え、カスタマイズ化することにより、ガラス・金属・セラミックのラッピング加工から、ポリッシング加工、CMP加工まで幅広く対応可能です。

→ 卓上片面研磨装置 TR15M 装置詳細ページ

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研磨プレート（ラップ定盤）のメンテナンスも

研磨装置による「研磨」は、研磨装置にあらかじめセットするラップ定盤と呼ばれる高い平面度をい持つ「研磨プレート」と、研磨するワークの素材や研磨精度に合わせた「研磨剤」を組み合わせて使い、職人さんの手によってより高い精度で行われます。

（小型卓上研磨装置TR06Mの動作）

使用する研磨プレート（上記動画のグレーの円の部分）は、主にダイヤモンド砥粒で用いられる金属プレート、樹脂混合プレートと、GCアルミナ等の砥粒で用いられる鋳鉄プレート、ガラスプレート等があり、研磨する対象物（ワーク）により使い分けることになります。

各種プレートの特徴や用途などの詳細は「研磨プレート（ラップ定盤）」のページをご覧ください。

樹脂混合銅プレート

メンテナンス

研磨作業を繰り返していけば、プレートの平面度に歪み（片減り）が出てきたり、溝加工がなくなってきたりすることは避けられません。

精度の高い研磨を持続していくためにも、使用状況に応じてメンテナンスをすることをお勧めします。

もちろん、テクノライズ株式会社でもメンテナンスを承っております。
（どちらの製品であっても対応可能です。お問い合わせください）

溝加工された金属錫プレート

プレート交換

台盤に取り付けられたプレートそのものを交換することも可能です。

メンテナンスでは対応しきれなくなっても、研磨プレートを台盤から外し、新しいプレートを取り付けることができます（鋳鉄プレートを除く）。

全てを新品にするよりリーズナブルです。

台盤（銀色）に取り付けられた研磨プレート（銅）。研磨プレートのみの交換が可能です。

測定原器の修正・メンテナンスも

平面度の調整に必要な測定原器のメンテナンスも承っております。

原器が正しくなければ、正しい平面度は出すことができません。

メーカーや測定器のタイプを問わず対応可能ですので、まずはお問い合わせください。

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真空貼り合わせ装置の加圧ダイヤフラムの働き

貼り合わせ装置とは、その名の通り、何かと何かをくっつける装置です。
ですので、さまざまな用途で使われていると思います。

テクノライズでご提供するのは「真空貼り合わせ装置（VAP250）」は、素材Aと素材Bを貼り合わせる場合、真空状態を作ることで素材Aと素材Bの間の気泡を極限まで取り除き（脱泡）、また、加圧することでより確実に密着させることができます。

加圧の方法は、エアによりダイヤフラムを膨らませて圧力をかけます。
そのため、平面的な加圧では不可能な多少の凹凸がある場合も、加圧・密着させることができます。

と、文字や言葉で説明してもなかなか伝わらないようですので動画を撮ってみました。
ダイヤフラムの動作の様子です。




これでイメージは掴んでいただけるかと思います。

加熱及び冷却装置も内臓しているので、接着用ワックスの加熱や冷却、その他接着フィルムなどの利用にも対応しております。

シリコンウエハの研磨用ベースプレートへの接着のみならず、金属、ガラス、プラスチックと異種素材との接着、複数枚の貼り合わせなどの用途にもご利用いただけます。

• 真空貼り合わせ装置 VAP250
• 据置型貼り合わせ装置 VAP350
• 据置型真空UV貼り合せ装置 VAP250-UV

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ラップ定盤（じょうばん）と呼ばれる研磨プレート

弊社テクノライズ（株）で取り扱っている高精度研磨装置は、機能的にも構造的にも非常にシンプルなもので、メンテナンス次第で長く使える装置です（→研磨装置の寿命とメンテナンス）。

研磨装置は、もちろん研磨するために使う装置ではあるのですが、実際に研磨する際には、「研磨剤」と「研磨プレート」が中心的役割を果たし、装置はその手助けをすることになります。

そこで今回は、研磨装置ではなく、その中心的役割を担う「研磨プレート」についてです。

営業スタッフに聞いてみました。

この研磨プレートですが、研磨加工業界では「ラップ定盤（じょうばん）」などとも呼ばれています。
研磨プレートについてはこちら

ラッピング（高精度研磨）をする際に、研磨対象（ワーク）を平面に仕上げるため、基準となる平面度をもったものがラップ定盤で、その定盤の表面にワークをあてて研磨剤を使って研磨していきます。
（これを「面転写」というのだそうです。）

この研磨プレート（ラップ定盤）には、←のリンク先にあるようにいくつか種類があります。何を選ぶかはワークの材質や仕上げる平面度によって変わってきます。

この図でいうと、右側に行くほどより細かな研磨ということになります。

ワークの材質や求められる平面度によって適した組み合わせを選択します。

オーソドックスな組み合わせの例は、上の表（ダイヤモンド砥粒）の場合、樹脂混合銅プレートまたは樹脂混合錫プレートと各レンジのダイヤモンド砥粒、他には（ワークの材質により）安価に研磨ができる鋳鉄プレートとアルミナの組み合わせがあげられます。

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研磨装置の寿命とメンテナンス

前回の編集後記にも書きましたが、研磨装置の寿命は意外と長いのです。
（→高精度“研磨装置”とは）

超高精度研磨加工といっても、実際は高精度な研磨のお手伝いをする装置であり、構造はモーターと回転盤が主力構成の実にシンプルな装置です。

卓上型片面ラッピング・ポリッシング装置 TR15M の内部

ですから、日頃から各部の清掃（特に排出される研磨剤）を行っていただき、3年に1度程度、機械内部のメンテナンスをさせていただければ、（もちろん使用頻度にもよりますが）10〜20年は問題なく稼働させることができます。

また「かつて使っていたが最近動かしていない」という装置でも、あらためてメンテナンスを行うことで十分に高精度な研磨加工ができるようになります。

もし、工場や研究室に、休眠中の研磨装置がありましたら、まだまだ使える場合がありますので、ぜひ一度弊社までご連絡いただければと思います。
（他社製品でも全く問題ありません）

また、装置のリニューアルも承っております。
お気軽にご相談ください。

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