ですので、さまざまな用途で使われていると思います。
加圧の方法は、エアによりダイヤフラムを膨らませて圧力をかけます。
そのため、平面的な加圧では不可能な多少の凹凸がある場合も、加圧・密着させることができます。
と、文字や言葉で説明してもなかなか伝わらないようですので動画を撮ってみました。
ダイヤフラムの動作の様子です。
これでイメージは掴んでいただけるかと思います。
加熱及び冷却装置も内臓しているので、接着用ワックスの加熱や冷却、その他接着フィルムなどの利用にも対応しております。
シリコンウエハの研磨用ベースプレートへの接着のみならず、金属、ガラス、プラスチックと異種素材との接着、複数枚の貼り合わせなどの用途にもご利用いただけます。
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