平面度の測定：レーザー干渉計と３点ゲージ

前回は、「オプチカルフラットによる平面度測定」について書きました。

今回は、その続きで、技術情報：平面度の測定方法の中から、(B) レーザー干渉計による測定 と (C) ３点ゲージによる測定 について、またまた弊社技術スタッフに教えてもらいました。

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まずはレーザー干渉計による測定について技術情報に書かれている内容は、

(A)のオプチカルフラットによる測定では、接触式なので、どうしてもワークにキズが入ります。そこで、非接触式の測定器が開発されて、一般に実用化されています。この原理は、基本的にオプチカルフラットと同じですが、レーザービームを使用し、オプチカルフラットに反射させて、干渉縞を発生させ、それをデジタル処理、又は手動により解析させるものです。（ZYGO等）このシステムは完全に「鏡面でなくても干渉縞を起こすことができる」、「非接触なのでワークにキズが付かない」等のメリットがあります。しかし、レーザーを使用するため、当然、高価であることが欠点です。

オプチカルフラットによる測定を、レーザーを使ってより高機能にしたものとでも言うのでしょうか。

解析方法によって測定結果の表示方法は違いますが、一例としては画像のようなグラフに表されます。

左のグラフは3Dで立体的に表現されたもの、右は基本的な干渉縞模様ですね。

このようにしてより詳細に平面度を測定して、求める加工精度にまで研磨できているかを検証するんです。

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もうひとつ、より簡易的な方法として「３点ゲージによる測定」があります。

これは、３点ゲージと言われる計測器（右写真）を使って、定盤上のワークのいくつかの点の数値を測定します。

それぞれの数値の差によって、その平面度を判定するもので、あまり高精度を必要としない場合には、この測定方法でもおおまかな平面度を得ることができます。

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事務一筋の私は技術にめっぽう弱いので、なんとなくわかったようなわからないような感じですが、前回と今回の2回にわたって「研磨加工の際に重要な平面度は、必要とされる精度に合わせて、このような方法で測定される」というお話をさせていただきました。

参考になりましたでしょうか...。

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